产品概述
本产品是专门针对硅片的一款高效抛光液,能快速去除表面缺陷,具有极佳的化学物理抛光去除平衡,快速地抛出高质量表面,而且无抛光橘皮、坑点等缺陷的产生。
主要成分:
硅溶胶
应用领域:
1. 适用于硅片工件的抛光,具有良好的抛光效果。
2. 应用在航空航天、工业、农业和国防等领域。
(可根据客户的需求提供定制产品)
产品特点:
1.本产品不含重金属、不含有毒有害物质,对环境友好。
2.本产品分为粗抛、中抛、精抛三个级别,用于硅片工件表面各种效果要求的抛光。
3.使抛光面具有表面晶格完整性、高的平面度及洁净性。
产品分类:
产品类型 | 产品级别 | 产品名称 | pH值 | 磨料类别 | 平均粒径 |
单晶硅片抛光液 | 粗抛 | SF-DD-1A | 9.0-10.0 | 硅溶胶 | 100-120nm |
中抛 | SF-DD-3 | 9.0-10.0 | 硅溶胶 | 100-120nmm | |
精抛 | SF-DS-5 | 9.0-10.0 | 硅溶胶 | 30-40nm |
定期维护:
1.定期检查槽液温度、液位,及时补水及相应比例补加原液。
2.按规定时间定期更换槽液。